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超纯水又称UP水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。

蒸馏水是指经过蒸馏、冷凝操作的水，蒸二次的叫重蒸水，蒸三次的叫三蒸水。低耗氧量的水，加入高锰酸钾与酸。工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得。